全自動槽式清洗機（jī）廣泛應用於集成（chéng）電路領域、先進封裝領域裏的清洗、刻蝕後、光刻膠去除（chú）等（děng）工藝。與傳統的（de）清洗設備相比自動化程度更高，可用於4寸、6寸、8寸、12寸（cùn）矽片清洗。還可以選配兆聲波係統、管路防靜電等配（pèi）置。設備可以提供在異常情況下對矽片的獨特保護（SPS係統）。可提供多個槽體或單片（piàn）進行化學藥（yào）液或純水，結合噴（pēn）淋（lín）、溢流、快速衝洗等清洗方（fāng）式，配（pèi）合先進的IPA幹燥方式，可同時對25或50片進行工藝處理。

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