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全自動槽式清洗機的特（tè）點與用途
2022-04-10
全自動（dòng）槽式清洗機的特（tè）點與用途
全自（zì）動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域（yù）裏的（de）CMP後清洗工藝。清（qīng）洗機（jī）可以用於對晶圓表麵，背麵及晶圓邊（biān）緣的清洗，通過自主創新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表（biǎo）麵的細微顆粒（lì）汙染物去除，實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥（yào）液或純（chún）水，結合噴淋、溢流、快速衝洗（xǐ）等清洗方式，配合先...
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全自動槽（cáo）式（shì）清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式（shì）清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光（guāng）伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機可（kě）以（yǐ）用於對晶圓表麵，背麵及晶圓邊緣的清洗，通（tōng）過（guò）自主創新的二流體（tǐ）噴（pēn）嘴技術可將附（fù）著在晶圓表麵的細微（wēi）顆粒汙染物去除（chú），實現高效去除（chú）。可提（tí）供多個槽體進行化學（xué）藥液或純（chún）水（shuǐ），結合（hé）噴淋、溢流、快速衝洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與用（yòng）途
2022-04-10
全自（zì）動槽式清洗機的特點與用途（tú）
全自動槽式清洗（xǐ）機廣泛應用於集成電路、微機電係（xì）統和光伏領（lǐng）域裏的CMP後清洗工藝。清洗（xǐ）機（jī）可以（yǐ）用於（yú）對（duì）晶（jīng）圓表麵，背麵及晶（jīng）圓邊緣（yuán）的清洗，通過自主創新的二流體（tǐ）噴嘴技術可（kě）將附著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物去除，實現高效去除。可（kě）提供（gòng）多個槽體（tǐ）進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速衝洗等清洗方式，配合先...
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